เวลาทำการ: จันทร์-ศุกร์ เวลา 09:00-17:30 น.

!!   รู้ลึก  รู้จริง เรื่องเครื่องมือทดสอบวัสดุ  !  ยืน 1 เรื่องมาตรฐานการให้บริการ   

เครื่องอบความร้อนอย่างรวดเร็ว (Jipelec JetFirst 300  300 mm RTP tool) ยี่ห้่อ ANNEALSYS
เครื่องอบความร้อนแบบรวดเร็ว ที่มีขนาดแผ่นเวเฟอร์ 300 มิลลิเมตร ผลิตโดยบริษัท ANNEALSYS เครื่องมือชนิดนี้ถูกออกแบบมาเพื่อใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในขั้นตอนของการอบชิ้นงานเพื่อให้ได้คุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ต้องการ
*ราคาอาจมีการเปลี่ยนแปลงตามอัตราแลกเปลี่ยน โปรดสอบถาม Line : @siamintercorp

แท็ก:

05 พฤศจิกายน 2567

ผู้ชม 7 ผู้ชม

The JetFirst 300 is a 300 mm cold wall chamber rapid thermal annealing system.
It has gas mixing and vacuum capability as standard features.

Rapid Thermal Annealing system
  • Rapid Thermal Annealing (RTA)
  • Implant annealing
  • Ohmic contact annealing
  • Rapid Thermal Oxidation (RTO)
  • Densification and crystallization
  • Diffusion of dopants
  • Etc.

The JetFirst system has been specially developed to meet the requirements of Universities, R&D center and small-scale production unit.

The frame design allows an easy installation in the customer facilities. 

The JetFirst chamber reactor allows receiving sample up to 12” diameter. The 12” reactor chamber is designed and optimized for 8” sample.  Concretely the 12” wafer treatment is mainly dedicated for R&D purpose (like 12” wafer sampling, …).

The JetFirst system is using two temperature measurement sensors: optical pyrometer and thermocouple. These sensors are provided in standard with the system. The Jipelec system allows making an accurate and easy calibration of the optical pyrometer for the customer samples.

Our fast PID system provides an accurate and repeatable thermal control across the temperature range. Furthermore, our software includes an autotuning procedure allowing an easy definition of the PID parameters for the customer process

Temperature range: ambient to 1200?C
Thermocouple control: ambient to 1000?C
Temperature pyrometer: 150?C to 1200?C
Max instantaneous heat rate: 150?C/s
Temperature repeatability:  +/- 1?C

Product Brochure

Engine by shopup.com