เป็นกระบวนการทางอุตสาหกรรมที่ใช้ความร้อนสูงเพื่อเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติของวัสดุ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ หรือวัสดุอื่นๆ ที่มีความไวต่ออุณหภูมิสูง กระบวนการนี้ทำได้โดยการให้ความร้อนกับวัสดุในเวลาอันสั้นมาก ซึ่งแตกต่างจากการอบแบบดั้งเดิมที่ใช้เวลาในการให้ความร้อนนานกว่า
*ราคาอาจมีการเปลี่ยนแปลงตามอัตราแลกเปลี่ยน โปรดสอบถาม Line : @siamintercorp
05 พฤศจิกายน 2567
ผู้ชม 20 ผู้ชม
Rapid Thermal Annealing system
- Rapid Thermal Annealing (RTA)
- Implant annealing
- Ohmic contact annealing
- Rapid Thermal Oxidation (RTO)
- Densification and crystallization
- Diffusion of dopants
- Etc.
2-inch rapid thermal processor for universities
The JetLight is a compact table top two-inch rapid thermal processor with vacuum capability dedicated to research applications. It can process substrates from few square millimeters up to 2-inch diameter. Optional susceptors are available to hold small samples and to process substrates with low infrared absorption.
The quartz tube process chamber with stainless steel flanges and tubular infrared halogen lamps furnace allows running processes up to 1000?C.
The horizontal motion door with quartz tray provides easy access for loading and unloading of the wafers and thermocouple installation.
Product Brochure